仪器型号日立8100/8600
扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
特点：
1.超高分辨成像
2.高衬度的低加速电压背散射图像
3.快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
4.先进的自动化功能*
5.灵活的用户界面
规格：
| 机型 | SU8600系列 | |
| 电子光学系统 | 二次电子像分辨率 | 0.6nm@15kV |
| 0.7nm@1kV* | ||
| 放大倍率 | 20 to 2,000.000 x | |
| 电子枪 | 冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。 | |
| 加速电压 | 0.5 to 30 kV | |
| 着陆电压* | 0.01 to 20 kV | |
| 探测器 | （部分为选配项目） | 上探测器（UD） |
| UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 | ||
| 下探测器(LD) | ||
| 顶探测器(TD) | ||
| TD能量过滤器 | ||
| 镜筒内背散射电子探测器(IMD) | ||
| 半导体式背散射电子探测器(PD-BSED) | ||
| 新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) | ||
| 阴极荧光探测器(CLD) | ||
| 扫描透射探测器(STEM Detector) | ||
| 附件 | （部分为选配项目） | 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) |
| 软件 | （部分为选配项目） | EM Flow Creater、HD Capture(最高 40.960x30.720 像素) |
| 样品台 | 马达驱动轴 | 5轴马达驱动(X/Y/R/ZIT) |
| 马达驱动轴 | X:0~110 mm | |
| Y:0-110 mm | ||
| Z:1.5~40 mm | ||
| T:-5~70* | ||
| R:360* | ||
| 样品室 | 样品尺寸 | 最大直径:150 mm |
1、粉末、液体、薄膜、块体均可测试，粉体样品大概10mg，块体样品要求长宽≤1cm，厚度≤1cm；
（1）粉体样品，常规粉末直接粘到导电胶上测试，如需分散后测试请提前说明；
（2）液体样品，测试老师根据样品要求及实验室条件，随机选择滴到硅片或铝箔上，如有指定要求请提前说明；
（3）薄膜或块体，请标明测试面，如需测试截面，请自行自备截面或提前说明截面制备方式。
2、镶嵌样及多孔材料等抽真空时间较长，样品尺寸尽量小一些，直径≤5mm，厚度≤5mm；
3、需要脆断的样品，尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些；
4、要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。
5、对于不导电或导电性差的样品，建议做喷金处理（以增强样品的导电性），不喷金可能会影响拍摄效果。
6、对于磁性样品（含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品，吸铁石能吸起来为强磁，吸铁石吸不起来为弱磁），根据不同老师的经验，对所拍样品中磁性强弱的接受度不同，请大家务必如实填写样品是否含磁及磁性的强弱。
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