仪器型号赛默飞 Talos F200X G2
Thermo Scientific Talos F200X STEM 是一款扫描透射电子显微镜，其将出色的高分辨率 STEM 和 TEM 成像与能量色散 X 射线光谱 (EDS) 信号检测相结合。采用构合映射的 2D/3D 化学表征由具有独特清洁度的 4 个柱内 SDD Super-X 探头执行。Talos F200X 扫描透射电子显微镜在所有维度下均可实现极快速精准的 EDS 分析，以及在进行动态显微镜检查时实现导航快速的高分辨率 TEM 和 STEM（HRTEM 和 HRSTEM）成像。Talos F200X 扫描透射电子显微镜还具有较低的环境敏感度；仪器外壳可调节 TEM 室中空气压力波、气流和细微温度变化的影响。
应用：
（1）采用电镜进行过程控制
（2）质量控制和故障分析
（3）基础材料研究
（4）半导体探索和开发
（5）良率提升和计量
（6）半导体故障分析
（7）物理和化学表征
性能数据：
| HRTEM 线分辨率 | ≤0.10 nm |
| STEM 分辨率 |
≤0.16 nm (X-FEG) ≤0.14 nm ，100 pA K-CFEG) |
| Super-XEDS 系统 | 4 SDD 对称设计、无窗、遮光板保护 |
| 电子能量损失光谱(EELS)能量分辨率 |
≤0.8 eV Ⅸ-FEG) ≤0.3 eV K-CFEG |
| 200 kV下的枪高度 |
1.8x109 A /cm2 srad (X-FEG) 2.4x109 A /cm2 srad (X-CFEG) |
1、样品状态：可为粉末、液体样品；块状、薄膜样品无法直接测试，需要离子减薄、双喷、FIB、切片制样，请提前说明并确认。
2、样品成分要求：
该说明仅针对一般无机材料类样品，生物类样品与无机材料类完全不同。一般对测试样品有如下几方面的要求：
（1）安全性：无毒、无放射性；
（2）是否含有有机物：有机物在高压下不稳定，拍摄过程中极易被打散，样品被打散的同时会污染到仪器，如需拍摄，请务必与测样老师确认。含有有机物的样品一般不能进行mapping表征，请慎选此选项；
（3）磁性：磁性材料可能被吸到镜头上影响TEM分辨率，会污染电镜，原则上电镜（SEM和TEM）不拍磁性样品。但是不同的设备，测试老师不同的样品处理经验状况下，对所拍样品中磁性强弱的接受度不同，所以请大家务必如实填写样品是否含磁及磁性的强弱。为方便区分样品是否有磁性及磁性强弱，我们按如下方法对磁性样品进行定义：
a.含铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、钆（Gd）等铁磁性元素的氧化物、金属、尖晶石等；
b.钕铁硼（NdFeB）/钐钴（SmCo）等稀土永磁材料；
c.钐（Sm）、镨（Pr）、钕（Nd）、镝（Dy）、铽（Tb）等稀土元素的磁性助剂
强磁：吸铁石能吸起来的样品。
弱磁：吸铁石吸不起来但是按前述定义为磁性的样品。
3、铜网的选择
一般普通形貌样品用普通碳膜铜网，高分辨用超薄碳膜或者微栅；样品为片状，或者大于几十纳米，看高分辨可以用微栅（微栅没有衬底，中间是空心）；样品若小于10nm不建议用微栅，因为会捞不上样品；量子点或小颗粒10nm，只能用超薄碳膜，相对衬度不是很好；mapping要做C元素，用微栅，要求片状样品刚好在铜网孔的中间，在孔边缘也是会有碳膜存在，因为微栅骨架上也有碳膜在；铜网，超薄碳膜，微栅都是有Cu元素，如果做mapping，样品刚好在骨架上，就会扫到做Cu元素，一般用钼网代替，但普通钼网做高分辨效果不好，如果样品里正好含有铜和钼，可以选择镍网；
4、由于测样老师对样品不了解，制样时所需溶剂，浓度，超声时间，铜网等，没法给出准确判断，请大家结合样品属性及测试目的，给出具体的制样条件，否则测样老师只能按常规处理，不对制样做多次尝试。
溶剂：常用是乙醇，其次是水（易挥发，不会在碳膜上留下痕迹），其他溶剂（如甲苯、丙酮等，如需要请自备溶剂），较易在碳膜上留下印迹。
浓度：测样老师一般取两滴（未知浓度），但对于要求一个视野看到几十个颗粒，最好提供对应浓度或液体，否则测样老师很难取到合适的量，这种只能通过多次实验尝试，建议提前拍个低倍样品，根据低倍图片确认大概浓度。
超声：有的样品，易团聚难超声，需较长超声时间；也有的样品，超声久的话会被超坏，甚至不能超声。测样老师制样时，一般默认是5min-10min，如有特殊要求请提前说明。
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