仪器型号P-100 EMMI
EMMI是在失效分析定位里最为常见的分析手段。通过测量样品加偏压所释放出来的光子来定位故障点。这个方法可以非常灵敏的测出微量光子，通过和背景图片重叠可以显现漏电的具体位置。
规格：
Si探测器 | 采集晶片 | 硅基芯片 |
像素 | 1024 × 1024 pixel | |
像素尺寸 | 13 微米 × 13 微米 | |
晶片尺寸 | 13.3毫米 × 13.3 毫米 | |
噪音 | 6 electrons rms | |
冷却方式 | 电制冷+水冷 | |
探测器晶片降温 | -70°C | |
冷却时间 | 小于10分钟（常温至-70°C） | |
InGaAs探测器 | 采集晶片 | 铟砷化镓晶片 |
像素 | 640 × 512 pixel | |
像素尺寸 | 20 微米 x 20 微米 | |
图像范围 | 12.8毫米 x 10.24 毫米 | |
冷却方式 | 电制冷+水冷 | |
探测器晶片降温 | -70°C | |
冷却时间 | 小于10分钟（常温至-70°C） | |
探针台 | 尺寸 | 6、8、12寸单双面探针台可选 |
电压范围 | 3000V以下可选 | |
电流范围 | 直流10A以内；脉冲40A以内可选 | |
探针座移动精度 | 0.7微米 | |
主机台 | 移动方式 | 电控移动 |
X-Y-Z移动范围 | 50*50*70毫米（z轴移动100毫米选配） | |
X-Y移动精度 | 1微米 | |
Z移动精度 | 0.2微米 | |
光学显微镜 | 品牌 | 日本三丰 |
目镜 | 10X一对 | |
物镜 | 2.5x,5x,20x,50x(100x选配） | |
其它 | 屏蔽箱 | 关门自动切断光源，内部处于暗场环境 |
减震台 | 97%@10HZ |
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