超声波显微镜 (SAT)是Scanning Acoustic Tomography 的简称，又称为C-SAM (C-mode Scanning Acoustic Microscope)。此检测为应用超声波与不同密度材料的反射速率及能量不同的特性来进行分析。 利用纯水当介质传输超声波信号，当讯号遇到不同材料的界面时会部分反射及穿透，此种发射回波强度会因为材料密度不同而有所差异，扫描声学显微镜就是利用此特性，来检验材料内部的缺陷并依所接收的信号变化将之成像。ECHO VS包括标准功能，例如用于最佳声耦合的热水，用于高效捕获最有用数据的灵活TAMI，用于提高信噪比的波形平均，用于改善图像质量的ICEBERG和用于在最苛刻的应用中提高图像质量的MFCI。ECHO VS是用于模压倒装芯片，CSP，MCM，堆叠芯片，MUF和其他先进封装技术的终极超声无损检测设备。

特点：

1、检测薄至 0.01 微米的空气缺陷，并在空间上解决低至 5 微米的缺陷。

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