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扫描电子显微镜
扫描电子显微镜

仪器型号日立8100/8600

项目简介

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。


特点:

1.超高分辨成像

2.高衬度的低加速电压背散射图像

3.快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*

4.先进的自动化功能*

5.灵活的用户界面


规格:



结果展示

样品要求

1、粉末、液体、薄膜、块体均可测试,粉体样品大概10mg,块体样品要求长宽≤1cm,厚度≤1cm;

(1)粉体样品,常规粉末直接粘到导电胶上测试,如需分散后测试请提前说明;

(2)液体样品,测试老师根据样品要求及实验室条件,随机选择滴到硅片或铝箔上,如有指定要求请提前说明;

(3)薄膜或块体,请标明测试面,如需测试截面,请自行自备截面或提前说明截面制备方式。

2、镶嵌样及多孔材料等抽真空时间较长,样品尺寸尽量小一些,直径≤5mm,厚度≤5mm;

3、需要脆断的样品,尺寸需要≥2*2cm,厚度<0.5cm,较厚的样品建议尺寸准备大些;

4、要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。

5、对于不导电或导电性差的样品,建议做喷金处理(以增强样品的导电性),不喷金可能会影响拍摄效果。

6、对于磁性样品(含铁、钴、镍、锰等磁性元素均为磁性样品,吸铁石能吸起来为强磁,吸铁石吸不起来为弱磁),根据不同老师的经验,对所拍样品中磁性强弱的接受度不同,请大家务必如实填写样品是否含磁及磁性的强弱。


常见问题

1、不导电或导电差的样品,为什么要喷金?
SEM成像,是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好,会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging),最终影响电子信号的传递,造成图像扭曲,变形、晃动等现象,喷金后样品表面导电增强,从而避免积电现象。
2、喷金后,对样品形貌是否有影响?
样品表面喷金后,只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层,厚度只有几个纳米到十几个纳米而已,对于看形貌来说,几乎是没有什么影响的。
3、点扫,线扫和面扫(mapping)之间的区别?
点扫,线扫和面扫(mapping)分别是在点范围,线范围,和面范围内获得样品的元素半定量信息,除此之外,线扫和面扫(mapping)还能分析元素在线或面范围内的分布情况。 点扫可以测试材料某一位置的元素种类和含量; 线扫在于了解材料一条线上各个点的元素含量的变化; 面扫(mapping)主要在于了解材料元素的区域分布。
4、磁性样品会对电镜有影响吗?
电子枪发射出的电子,一般都是由磁场汇聚,当样品含有磁性的时候很容易磁化电镜的"心脏"部件-极靴,同时容易吸附到极靴表面或光学通道上,因此磁性样品的测试可能会给电镜带来损害,承接磁性样品的检测单位也需要去承担相应的风险。

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